在真空泵使用中，由于各种原因产生异常现象或发生故障后，除迫不得已，不应拆开整个泵浦；在未加分析或不明用途、原理情况下更不应拆卸泵浦。一般应首先试用调整的方法解决问题。若不能凑效，才可考虑拆解修理或更换零部件，并且应由专业人员进行。在拆解泵浦的过程中，应注意如下细节：

1、拆解拆卸的工作场所一定要保持清洁，最好在净化车间内进行。

2、在真空泵维修时，要完全清楚泵浦中的润滑油，同时还要考虑好如何处理废真空泵油的回收，并把真空泵油排除干净。

3、泵浦拆卸时要用适当的工具，以免损坏零件等。

4、拆卸时，个泵浦零件需妥善放好，并加以标示，以便组装。

5、真空泵零部件精度较高，要注意零件表面的保护，防止划伤、碰伤等不良现象发生。

6、在拆卸真空泵回油管时，要事先清理周围的污垢。拆卸后，回油管开口处用干净的塑料制品或石蜡制品堵住，以免杂质进入回油管内。同时注意回油管的标示，以便组装。

7、在更换O型圈、油封等密封件时不应用尖锐的工具，避免损伤，O型圈组装时，注意密封圈不允许扭曲变形，要保证滑动过程中的润滑性能。

8、安装油管接头，要注意拧紧力度适当，不应过紧。回油管道一般是铜材质制造而成，用力过度会导致油管滑牙、变形。

9、安装转子等相对重的关键零部件，应当用支撑架或者其他工具支撑住，防止滑落导致损伤。