真空泵油污染是较为常见的真空泵故障，真空泵油污染不仅仅是污染真空泵那么简单，它还会影响真空泵的工作效率，甚至对真空泵部件发生风险。真空泵油污染有以下几个原因：

1.新的真空泵或真空泵维修后，用水、燃料或清洗剂冲刷内部。

2.真空泵工作环境周转有大量水、灰尘或化学物质，也会污染真空泵油。

3.封存的真空泵内部的防锈物未启封干净就插手真空泵油运转，也使真空泵油受污染。

4.换真空泵油时旧油放不干净，旧加新的真空泵油，残存的旧油污染新油，旧油重的氧化产物加速了新油的氧化。

5.工作失误，真空泵操作中补加真空泵油时，加入了一些其它品种或者劣质进口真空泵油，这些润滑油的不同配方和添加剂可能与原用真空泵油发生不良反映而易于变质。